반도체 & 웨이퍼

왜곡 정도를 측정하는 디플렉토메트리 reflectCONTROL 시스템은 150 mm 직경의 웨이퍼의 평탄도 또는 평면성을 검사하는 데 사용됩니다. 해당 시스템은 단 한 번의 이미지로 평탄도를 측정합니다. 이를 위해 센서는 웨이퍼에 줄무늬 패턴을 투사하며, 해당 패턴은 내장된 카메라에 의해 기록됩니다. 웨이퍼의 기하학적 변형은 줄무늬 패턴의 왜곡을 초래하며, 이는 소프트웨어를 통해 분석됩니다. 센서는 반사 표면의 3D 형상을 매우 정밀하게…

정전용량변위센서는 웨이퍼의 두께를 정밀하게 측정하는 데 사용됩니다. 두 대의 센서가 서로 마주보는 형태로 설치되어 웨이퍼의 두께를 측정하며, 이 과정에서 휨 정도나 톱니 자국 (Saw mark)과 같은 추가적인 파라미터도 함께 확인할 수 있습니다. 또한, 측정 간극 내에서 웨이퍼의 위치가 변동될 수 있기 때문에, 이를 고려한 정밀한 측정이 필요합니다. …

Micro-Epsilon사의 레이저 프로파일 스캐너는 실리콘 잉곳의 기하학적 형상을 검사하는 데 사용됩니다. 스캐너는 실리콘 잉곳의 전체적인 기하학적 형상을 감지하여 분리 전에 실리콘 블록의 기하학적 편차를 확인할 수 있도록 합니다. 또한 잉곳에는 종종 정확한 방향 설정을 위해 필요한 오리엔테이션 노치 (Orientation notch)가 포함되어 있으며, Micro-Epsilon사의 블루 레이저스캐너는 이러한 노치의 치수 정확성을…

공초점변위센서는 웨이퍼의 표면을 스캔하여 휨, 뒤틀림, 왜곡을 감지합니다. confocalDT 컨트롤러는 변화가 빠른 환경에서도 우수한 측정 속도로 안정적인 결과를 제공하며 짧은 사이클 시간 내에 웨이퍼를 검사할 수 있습니다.

톱니 자국의 자동 검출 및 측정을 위해 Micro-Epsilon사의 공초점변위센서가 사용됩니다. 컨트롤러의 빠른 표면 보상 기능은 반사 특성이 다양한 표면에서도 최대 신호 안정성을 달성하기 위해 노출 사이클을 조정합니다. 또한 Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 큰 기울기 각도를 허용하며, 매우 작은 광 스폿을 제공하므로 웨이퍼 표면의 톱니 자국 및 기타 요철을 정확하게 검출할 수 있습니다. …

Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 실리콘 웨이퍼의 범프를 검사하는 데 사용됩니다. 해당 센서는 웨이퍼 표면에 작은 광 스폿을 생성하여, 우수한 분해능으로 매우 작은 부품과 구조를 정확하게 검사합니다. 이를 통해 범프의 형상과 치수를 정밀하게 측정하여 전기적 연결이 원활히 이루어지도록 합니다.

웨이퍼를 취급하는 과정에서 정확하고 반복 가능한 위치 설정은 매우 중요합니다. 웨이퍼를 공급하는 과정에서 레이저 마이크로미터 optoCONTROL 두 대가 직경을 검사하여 수평 위치를 결정합니다. 특히 빠른 측정 속도와 정확도를 바탕으로, 해당 마이크로미터는 신뢰할 수 있는 위치 정보를 제공합니다. 또한, 두 마이크로미터의 상대적 위치에 따라 서로 다른 웨이퍼의 직경을 측정할 수 있습니다. …

리소그래피 공정은 최대한의 정밀도를 달성하기 위해 기계 이동 시 우수한 정밀도 (분해능)와 장기적인 안정성을 필요로 합니다. 그리고 이를 위해 Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 나노미터 단위의 정밀한 마스크 포지셔닝을 가능하게 하는 우수한 분해능을 제공합니다. 또한 해당 센서는 진공 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되어 초고진공 환경에서도 센서와 케이블을 사용할 수 있습니다. …

리소그래피 공정에서는 최대한의 정밀도를 확보하기 위해 기계 이동을 우수한 분해능으로 측정하고, 장기간 안정적으로 유지하는 것이 중요합니다. Micro-Epsilon사의 백색광 간섭계 IMS5400은 특수 평가 알고리즘과 액티브 온도 보상 기능을 이용해 나노미터 단위의 정밀한 마스크 포지셔닝을 가능하게 합니다. 또한, 진공에 적합한 센서, 케이블, 케이블 부싱으로 인해 진공 환경에서도 안정적으로 사용할 수 있습니다. …

공초점변위센서는 단면 레이어 두께 측정에 사용됩니다. 공초점 측정 방식은, 여러 신호 피크를 평가함에 따라 투명한 레이어의 두께를 측정할 수 있습니다. 특히 멀티 피크 측정 기능을 이용해 confocalDT 컨트롤러는 보호 코팅 및 도장층의 두께를 매우 정확하게 측정합니다.

고품질의 반도체 칩을 생산하기 위해 글라스 웨이퍼 생산 과정에서는 정밀한 얼라인먼트와 위치 설정 기술이 필요합니다. 그리고 이 과정에서 중요한 단계 중 하나는 노치 감지로, 웨이퍼 상의 노치 위치를 정확히 감지하는 작업입니다. 왜냐하면 이러한 노치는 이후 가공 및 핸들링 단계에서 기준점 역할을 하기 때문입니다. 그리고 이를 위해 광화이버 센서 optoCONTROL CLS1000은 노치를 정확하게 감지하는 데 사용됩니다. 혁신적인 기술이…

정전용량변위센서는 웨이퍼 스테이지에서 위치를 정밀하게 조정해야 하는 작업에 사용됩니다. 해당 센서는 스테이지의 여러 지점에서 위치를 측정하여, 웨이퍼 스테이지를 미세하게 정렬하는 데 특히 유용합니다. 삼축 설계로 인해 센서는 전자기장의 영향을 받지 않으며, 나노미터 단위의 정밀도를 달성할 수 있습니다. 또한, 센서는 매우 높은 장기적인 안정성을 제공하여 지속적으로 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다. 또한 비접촉식 센서로, 진공 환경에서도…

비접촉 방식의 유도식 변위센서 (와전류변위센서)는 렌즈 요소의 위치를 정확히 측정하여 이미지 품질을 극대화합니다. 렌즈 시스템에 따라 Micro-Epsilon사의 변위센서는 최대 6자유도에서 움직임과 위치를 감지하는 데 사용됩니다. 또한, eddyNCDT 센서는 높은 주파수 응답을 제공하여 렌즈 시스템의 매우 동적인 움직임까지도 모니터링할 수 있습니다. …

리소그래피 장비는 웨이퍼의 특정 부위를 정밀하게 노광하기 위해 웨이퍼를 정확한 위치로 이동시킵니다. 이때, 정전용량변위센서는 이동 경로를 측정하여 나노미터 단위의 정밀한 위치 제어를 가능하게 합니다.

Micro-Epsilon사의 비접촉식 변위센서는 웨이퍼 스테이지의 위치를 모니터링 하는 데 사용됩니다. 센서는 빠른 속도로 움직이는 스테이지의 동적인 XYZ 움직임을 측정합니다. 또한 정전용량 및 유도식 (와전류)센서는 노광 공정에서 웨이퍼의 정확한 위치 설정을 위해 나노미터 단위의 분해능을 제공합니다. 이러한 혁신적인 센서는 진공 환경에서도 사용할 수 있으며, 강한 자기장에도 영향을 받지 않습니다. …

Micro-Epsilon사의 백색광 간섭계 IMS5600은 웨이퍼 스테이지의 위치를 정밀하게 모니터링하는 데 사용됩니다. 해당 시스템은 매우 빠르게 가속하는 스테이지의 XYZ 움직임을 정확히 측정합니다. 또한 고정밀 광학 측정 시스템으로, 나노미터 단위의 분해능을 제공하며 노광 공정에서 웨이퍼가 나노미터 단위의 정밀도로 정렬되도록 유지합니다. 측정 헤드는 진공 환경에서도 안정적으로 작동하도록 설계되었으며, 강한 자기장의 영향을 받지…

정전용량변위센서는 렌즈 캐리어의 기울기 각도를 나노미터 단위의 정확도로 측정합니다. 고정밀 측정을 통해 렌즈 캐리어의 각도 변화가 최소화되며, 이를 통해 반복적으로 정확한 이미지 투사가 가능합니다. 여러 대의 센서는 금속 캐리어를 대상으로 측정을 수행하며, 우수한 분해능을 통해 웨이퍼를 정밀하게 노광할 수 있도록 합니다.

공초점변위센서를 이용해 렌즈의 얼라인먼트 상태를 확인합니다. 여러 대의 센서가 렌즈의 표면을 측정하여 기울기 각도를 나노미터 단위의 정확도로 감지합니다. 전자기 센서와 달리, 공초점변위센서는 글라스 표면을 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 빠른 측정 속도를 이용해 렌즈 움직임의 동적인 변화 역시 신뢰성 있게 감지할 수 있습니다.

잉곳에는 종종 정확한 방향 설정을 위해 필요한 오리엔테이션 노치 (Orientation notch)가 포함되어 있습니다. 그리고 Micro-Epsilon사의 블루 레이저스캐너는 이러한 노치의 형상을 검사하여 치수 정확도를 확인하는 데 사용됩니다. 스캐너는 노치의 프로파일을 우수한 정확도로 검사합니다. 또한 잉곳 위를 이동하며 오리엔테이션 노치의 형상을 우수한 정확도로 검사하고 정밀한 프로파일 데이터를 제공합니다. 혁신적인 성능의 블루…

Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 웨이퍼의 균열 및 기타 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 해당 센서는 빠른 표면 보상 기능을 이용해 반사 특성이 다양한 표면에서도 신뢰성 있게 결함을 검출합니다. 매우 작은 광 스폿과 우수한 분해능을 바탕으로 웨이퍼에서 가장 미세한 결함까지도 신뢰성 있게 감지할 수 있습니다.

환형 톱은 실리콘 잉곳을 절단하는 데 사용됩니다. 잉곳을 정확하게 분리하기 위해 와전류변위센서를 사용하여 톱날 또는 홀더를 모니터링합니다. 총 네 대의 센서가 비접촉 방식으로 톱날 지지대까지의 거리를 측정합니다. 또한 뛰어난 주파수 응답성과 분진 및 오염물에 대한 내성을 바탕으로, 센서는 톱날의 축 방향 편차에 대한 정확한 측정값을 제공합니다. 그리고 이를 통해 실리콘 웨이퍼를 균일하고 정밀하게 절단할 수 있습니다. …

와이어 톱은 잉곳을 한 번에 절단합니다. 그러나 와이어는 사용 중 빠르게 마모되므로, 비접촉식 와전류변위센서를 활용하여 와이어 베드를 여러 지점에서 모니터링합니다. 이를 통해 가이드 롤러에서 와이어 높이뿐만 아니라 와이어의 처짐까지 정밀하게 감지할 수 있어, 마모 상태를 신속하고 정확하게 파악할 수 있습니다. 또한, 이와 같은 견고한 측정 원리는 분진과 오염의 영향을 받지 않으며, 높은 분해능의 측정 결과를 안정적으로 제공합니다. …

Optocraft사의 파면센서 Shack-Hartmann은 전체 광학 시스템의 얼라인먼트와 이미징 품질을 측정합니다. 또한, 견고한 측정 원리를 기반으로 기계에 통합하여 자동 측정 시퀀스를 수행할 수 있으며, 레이저 빔 분석뿐만 아니라 기계 내 레이저 빔 모니터링에도 활용할 수 있습니다.

웨이퍼의 정확한 위치는 웨이퍼 취급 시 매우 중요한 역할을 합니다. 따라서 웨이퍼가 공급되는 과정에서 백색광 간섭계를 사용하여 웨이퍼의 수평 기울기 각도를 측정합니다. 두 대의 간섭계가 웨이퍼를 측정하며, Micro-Epsilon사의 백색광 간섭계는 나노미터 이하의 분해능으로 절대 거리 값을 제공합니다. 이 같은 측정 작업은 웨이퍼를 집거나 제거할 때 위치 정확성을 최대치로 보장합니다. …

공초점변위센서를 이용해 웨이퍼의 두께 편차 (Total Thickness Variation, TTV)와 양면 두께를 측정합니다. 또한 웨이퍼 두께 프로파일을 기반으로 웨이퍼의 휨 (Bow)과 뒤틀림 (Warp)을 감지할 수 있습니다. 그 밖에도 빠른 측정 속도를 이용해 웨이퍼 전체 두께를 짧은 측정 사이클 내에 감지할 수 있습니다.