정전용량변위센서를 이용한 변위, 거리, 위치 측정
정전용량변위센서는 변위, 거리, 위치, 두께를 비접촉식으로 측정하기 위해 설계된 센서입니다. 해당 센서는 우수한 신호 안정성과 분해능을 자랑하는 이유로 실험실뿐만 아니라 산업용 측정 작업에도 사용됩니다. 일례로, 정전용량변위센서는 생산 관리 분야에서 필름 두께와 도포된 접착제를 측정하는 데 사용됩니다. 그 밖에도 해당 센서는 기계에 설치되어 변위와 더불어 기구부의 위치를 모니터링하는 데 사용되기도 합니다.
진공 및 클린룸 환경
Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 진공이나 클린룸과 같이 공기 중에 입자가 없는 환경에서 자주 사용되며 서브나노미터 분해능을 달성합니다. 또한 진공 환경을 고려하여 Micro-Epsilon사는 특주 타입의 센서, 케이블, 피드스루 액세서리를 제공합니다. 이 같은 센서와 케이블은 입자가 없는 상태 (Particle-free)를 유지하며 정확한 측정을 수행하여 ISO1 등급의 클린룸에서도 사용 가능합니다.
자기장 간섭에 대한 내성
Micro-Epsilon사는 강력한 자기장이 있는 환경에서 사용할 수 있는 센서와 케이블을 제공하며 이들 제품은 모두 티타늄과 스테인레스 스틸과 같은 비자성 물체로 제작되었습니다. 또한 삼축 설계로 차폐 (Shield)처리 되었기 때문에 간섭에 대한 강력한 내성을 자랑합니다.
극한의 온도에서도 높은 정밀도를 자랑
기존의 비접촉식 측정 기술과 달리 Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 측정 정확도가 우수한 장점을 지니고 있습니다. 측정 타겟의 열로 인한 전도율의 변화가 측정에 영향을 미치지 않기 때문에 온도가 변화하더라도 측정값이 안정적으로 유지됩니다. 가령 정전용량변위센서는 초전도 전자석의 거리 측정에 사용되는 것을 예로 들 수 있습니다. 또한 센서는 측정값의 최대 분해능을 유지하면서 최대 -270°C의 주변 온도에서도 사용할 수 있습니다.
신제품 출시: 고온 환경에서도 정확한 측정을 구현
최대 +800°C의 고온 환경의 경우, 신제품 CSE HT 센서를 사용할 수 있습니다. 더불어 고온에서 사용 가능한 해당 센서는 고성능 컨트롤러 capaNCDT 6228과 함께 사용됩니다.
완벽한 호환성: 캘리브레이션 없이 센서 및 컨트롤러 교체 가능
capaNCDT 센서, 케이블, 컨트롤러는 빠르고 쉬운 교체가 가능하며 혁신적인 기술이 적용되었기 때문에 추가적인 캘리브레이션이나 선형화 작업이 필요하지 않습니다. 그 밖에도 현장에서는 단시간 내에 capaNCDT 구성품이나 기존과는 다른 측정 범위의 센서로 교체가 가능합니다. 특히 Micro-Epsilon사는 정전 용량 변위 측정 분야에 있어 세계에서 가장 다양한 센서 구성품 조합을 제공합니다.
양산 및 OEM 제작을 위한 정전용량변위센서 시리즈
당사는 고객의 요구사항에 따라 측정 시스템을 변경할 수 있는 데, 이들 요구사항의 예로는 제품 설계, 캘리브레이션 타겟, 극저온 환경 및 진공 / UHV 환경 내 사용 가능하도록 설계 변경, 케이블 길이, 측정 범위 변경 및 센서 내 컨트롤러 내장 여부 등이 있습니다. 센서 커스터마이징에 대해 더 알아보기
정전용량변위센서: 작동 원리 및 적용사례
정전용량변위센서는 정전 용량의 변화를 감지하는 원리를 기본으로 합니다. 플레이트 타입의 커패시터를 사용하여 일정한 크기의 두 플레이트 사이의 거리를 변경하거나 측정 갭 사이에 유전체를 삽입하여 정전 용량을 변화시킬 수 있습니다. 정전용량식 측정 원리를 따르는 경우, 센서 (측정 전극)와 전도성 측정 타겟은 완전한 플레이트 타입의 커패시터와 유사한 역할을 합니다. 만일 센서 커패시터에 일정한 주파수의 교류 전류가 흐르면 센서의 교류 전압 진폭은 타겟 (접지 전극)과 거리에 비례합니다. 그러나 일정한 유전율을 위해 센서와 타겟 사이에는 일정한 유전체가 필요합니다.
삼축 설계를 이용한 안정적인 측정
capaNCDT 센서는 가드링 커패시터로 설계되었으며, 실제로도 이상 수준에 가까운 직선성을 구현합니다. Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 산업용 측정 작업에 사용되는 데, 특히 일정한 거리에서 측정 갭의 매질을 검출하거나 일정한 매질 또는 유도체에서 전도체 타겟까지 거리를 측정하는 데 사용됩니다.
사용자 친화적인 최신 컨트롤러 기술
최신 capaNCDT 컨트롤러는 아날로그, Ethernet, EtherCAT과 같은 다양한 인터페이스를 지원합니다. 따라서 Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서를 기계나 시스템에 손쉽게 설치할 수 있습니다. 웹 인터페이스 덕분에 웹 브라우저를 통해 사용자 친화적인 설정 및 시운전이 가능하며 이를 위해 Ethernet 인터페이스를 통해 PC와 컨트롤러가 연결되며 모든 설정, 필터 및 산술 함수는 지능형 신호 처리를 위해 컨트롤러에 직접 저장됩니다.
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