백색광 간섭계를 이용한 서브나노미터 정밀도의 절대 거리 측정
새롭게 출시된 백색광 간섭계 IMS5600-DS는 높은 정밀도로 거리를 측정하는 데 사용됩니다. 컨트롤러는 지능형 평가 기능을 이용한 특수 캘리브레이션을 제공하며 이를 통해 서브나노미터 정밀도로 절대 측정을 합니다. 또한 간섭계는 전자 및 반도체 생산과 같이 높은 정밀도가 요구되는 측정 작업에 사용됩니다.
넓은 측정 범위와 오프셋 거리를 이용한 절대 거리 측정
IMS5600-DS는 변위와 거리를 고정밀하게 측정하는 데 사용됩니다. 본 시스템은 절대 측정값을 제공함에 따라 스텝 프로파일의 거리 측정에도 활용 가능합니다. 또한 절대 측정으로 인해 높은 신호 안정성으로 샘플링 할 수 있습니다. 따라서 이동 중인 대상체 측정 시 높이, 단차, 움푹 패인 영역의 높낮이를 안정적으로 측정합니다. 해당 측정 시스템은 측정 범위와 관련하여 넓은 오프셋 거리를 제공하면서 동시에 서브나노미터의 분해능을 제공합니다.
멀티 피크 거리 측정
투명한 대상체에 대한 멀티 피크 거리 측정 시, 최대 14개의 거리 값을 동시다발적으로 평가합니다. 이는 예를 들어 글라스와 캐리어 플레이터 간의 거리를 결정하는 데 사용되는 데, 컨트롤러는 거리 값을 이용해 글라스의 두께 값을 연산할 수 있습니다.
진공 환경에서 우수한 분해능으로 거리를 측정하기 위한 제품 설계
IMS5600-DS 간섭계는 진공 및 클린룸 환경에서 측정 작업을 수행하는 데 사용되며 이 같은 환경에서 서브나노미터 단위의 분해능을 자랑합니다. 진공 환경에서 사용할 것을 염두하여 Micro-Epsilon사는 특주 센서, 케이블, 피드스루 액세서리를 제공합니다. 이들 센서와 케이블은 입자 배출과 관련하여 최고 수준의 기준을 충족하며 클린룸을 포함하여 UHV 환경에서도 사용될 수 있습니다.
높은 정밀도로 안정적인 거리 측정
컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 설치 가능하며 능동 온도 보정 기능과 수동 냉각 기능을 활용해 매우 안정적으로 측정합니다. 컴팩트한 이들 센서는 매우 공간 효율적일 뿐만 아니라 유연성이 뛰어난 광화이버 케이블이 탑재되어 있으며, 케이블은 최대 10 m의 길이를 자랑함에 따라 센서와 컨트롤러를 서로 다른 공간에 설치할 수 있습니다. 그 밖에도 내장된 파일럿 레이저를 이용해 센서를 손쉽고 빠르게 얼라인 할 수 있습니다. 또한 시운전 및 파라미터 설정은 웹 인터페이스를 통해 간편하게 수행되며 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.
다양한 표면 측정
간섭계 측정 방식을 이용해 다양한 표면을 측정하며, 이를 통해 유광 금속, 플라스틱, 글라스까지 거리를 고정밀하게 측정할 수 있습니다.
까다로운 환경에서도 사용 가능한 다양한 제품군
| 제품명 | 측정 범위 / 측정 시작점 (SMR) |
직선성 | 측정 가능한 레이어 개수 | 적용 사례 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5600-DS19 | 2.1 mm / 약 19 mm | ±10 nm | - | 산업 분야 내 고정밀 거리 측정 (예: 정밀 제조) |
| IMS5600-DS19/VAC | 클린룸 및 진공 환경 내 고정밀 포지셔닝 및 거리 측정 (예: 디스플레이 제조 공정 중 마스크 포지셔닝) | |||
| IMS5600MP-DS19 | 거리 측정: 2.1 mm / 약 19 mm 두께 측정: 0.01 ~ 1.3 mm (BK7, n=1.5인 경우) / 약 19 mm |
최초 거리 측정 시: ±10 nm 이후 추가 거리 측정 시: ±100 nm |
최대 13개 레이어 | 산업 분야 내 고정밀 거리 및 두께 측정 (예: 반도체 생산 중 웨이퍼 레이어 두께 측정, LED 제조 등) |
| IMS5600MP-DS19/VAC | 클린룸 및 진공 환경 내 고정밀 거리 및 두께 측정 (예: 반도체 생산 중 마스크 및 웨이퍼의 위치 및 갭 측정) |
인터페이스 및 신호 처리 장치
기계와 시스템에 설치하기 위한 최신식 인터페이스
컨트롤러는 Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 내장형 인터페이스를 제공할 뿐만 아니라 추가 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력, 디지털 I/O를 제공합니다. 만일 Micro-Epsilon사의 인터페이스 모듈을 사용할 시, PROFINET과 EthernetIP 역시 사용할 수 있는 관계로 간섭계를 모든 제어 시스템 및 생산 프로그램에 통합할 수 있습니다.
