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우수한 분해능 및 컴팩트한 사이즈

차세대 공초점변위센서

confocalDT

정밀한 측정 작업을 지원하는 세계 최대 규모의 센서 포트폴리오

confocalDT

표면 특성과 관계없이 높은 정밀도로 변위 및 거리 측정

confocalDT

다양한 분야에서 전 세계적으로 입증된 성능: 산업, 로봇 공학 및 반도체 / 진공

confocalDT

공초점 측정 기술의 선도자

confocalDT

자동화 및 공정 모니터링에 적합

공초점변위센서

confocalDT 센서 제품군은 공초점 크로매틱 측정 기술에서 최고 수준의 정밀도와 속도 및 응답성을 자랑합니다. 해당 센서는 투명한 물체까지의 거리와 두께를 모두 매우 정밀하고 빠르게 측정합니다. 또한 혁신적인 기술이 적용된 컨트롤러 및 센서 기술은 모든 표면에서 높은 신호 안정성을 보장합니다. 이와 같이 뛰어난 성능을 갖춘 센서 포트폴리오를 통해 평판 유리 생산이나 측정 기계 및 반도체 기계 제작과 같은 다양한 측정 작업에 적용 가능합니다. 

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특징

  1. 빠른 속도와 높은 분해능으로 거리 및 두께 측정
  2. 자동화 및 공정 모니터링에 적합
  3. 표면의 특성과 대개 무관하게 측정 가능하며 반사 및 글라스 표면에도 사용 가능
  4. 아주 작고 일관된 사이즈의 스폿을 이용해 미세한 디테일 측정
  5. 나노미터 단위의 고정밀한 분해능
  6. 이상적인 신호 대 잡음비 (Signal-to-noise ratio)를 갖춘 산업용 등급의 컨트롤러
  7. 수동소자 (Passive component)로 이루어진 측정 시스템으로 진공 환경 내 적합
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Micro-Epsilon Korea Ltd.
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공초점 크로매틱 기술을 이용해 변위 및 두께를 매우 정밀하게 측정

confocalDT 제품군은 공초점 크로매틱 측정 기술 분야에서 최고의 정밀도와 속도 및 응답성을 자랑합니다. 이에 해당 센서는 다양한 측정 작업을 수행하는 데 사용됩니다. 

정밀 측정을 위한 다양한 센서 포트폴리오

모든 측정 작업에 적합한 센서! 협소한 설치 공간, 곡면 측정, 반도체 산업에서 나노미터 단위의 정밀한 측정 등 다양한 어플리케이션에 활용 가능한 confocalDT 센서는 다양한 시리즈로 제공됩니다.

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차세대 센서

confocalDT IFD2415와 IFD2410은 컨트롤러가 내장되어 있는 강력한 공초점변위센서입니다. 공간 절약형 타입의 IP65 등급 하우징은 광화이버 케이블을 필요로 하지 않기 때문에 설비와 기계에 빠르게 설치할 수 있습니다. 또한 센서를 이용해 거리와 두께를 매우 정밀하게 측정할 수 있습니다. 그 밖에도 IFD2415는 최대 5개 레이어의 두께를 측정하는 작업에 사용될 수 있습니다. 또한 활성화된 노출 시간 조절 기능을 통해 최대 25 kHz의 동적인 공정에서 역시 다양한 표면을 빠르고 안정적으로 측정합니다.

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우수한 분해능 및 속도: 보다 정밀한 거리 및 두께 측정

confocalDT 센서는 뛰어난 신호 대 잡음비 (Signal-to-noise ratio)를 제공하여 높은 정확도로 빠르게 측정할 수 있습니다. 더불어 빠른 속도를 자랑하는 표면 보정 기능으로 인해 다양한 표면에서 안정적인 신호를 제공합니다.

초소형 스폿: 미세한 디테일 및 구조 측정

Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 큰 개구수 (NA)를 이용해 3 µm 미만의 아주 작은 스폿을 생성합니다. 따라서 미세한 디테일과 구조를 아주 안정적으로 검출할 수 있습니다.

큰 틸팅 각도

confocalDT IFS 센서는 최대 48°의 큰 틸팅 각도를 자랑합니다. 이에 곡률이 크거나 구조적인 표면에서도 안정적인 신호를 생성하며 측정합니다.

진공 환경 내 사용

confocalDT 센서는 수동소자 (Passive component)로 이루어져있어 열을 발생시키지 않습니다. 특히 진공 환경에서 사용하기 위해 Micro-Epsilon사는 각 사양 (클린룸, 진공, UHV)에 적합한 센서, 케이블, 액세서리를 제공합니다. 또한 진공 호환형 센서는 측정 범위와 조사되는 레이저 빔의 방식 (축 방향, 방사형)옵션에 따라 다양한 종류로 제공됩니다.

산업, 로봇 공학 및 진공 분야에서 사용되는 견고한 광화이버

모든 표면에서 뛰어난 성능 발휘

웹 인터페이스를 이용한 손쉬운 사용

인터페이스가 사용자 친화적인 구성을 띄고 있는 이유로 설정 및 구성에 있어 그 어떤 추가적인 소프트웨어가 필요하지 않습니다. 특히 Ethernet을 통해 웹 인터페이스에 액세스 가능하며 해당 웹 인터페이스는 여러 다른 설정 및 구성 옵션을 지원합니다. 또한 재질과 관련한 정보는 데이터베이스에 저장되며 해당 데이터베이스는 자유롭게 확장 가능합니다.

다양한 인터페이스를 이용한 손쉬운 연동

산업 분야 내 초고정밀 측정에 적합

영상: 공초점변위센서를 이용한 거리 및 두께 측정

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