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capaNCDT 6500

나노미터 수준의 다채널 시스템

최고의 분해능을 자랑하는 멀티 채널 타입의 정전용량변위센서

정전용량변위센서는 높은 정밀도를 요구하는 작업에 사용하기 위해 제작된 제품입니다. capaNCDT 6500 다채널 시스템은 서브나노미터 분해능을 자랑함에 따라 높은 신뢰성이 요구되는 측정 작업에 적합하며 컨트롤러의 최고 데이터 전송 속도는 최대 7.8 kHz (디지털, 최대 4채널)또는 8.5 kHz (주파수 응답)입니다. 아날로그 출력 외에도 EtherCAT 인터페이스가 제공됩니다. 또한 EtherCAT 사용 시, 오류 없는 실시간 데이터 전송, 기존 측정 환경에 빠르게 설치, 그리고 두 개의 시스템 동기화가 가능합니다. 그 밖에도 웹 브라우저를 통해 capaNCDT 6500을 쉽게 설정할 수 있습니다.

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특징

  1. 측정 범위 (mm): 0.05 | 0.2 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
  2. 최대 분해능 0.0375 nm
  3. 최대 직선성 0.01 µm
  4. 주파수 응답 8.5 kHz (-3 dB)
  5. 데이터 전송 속도 (디지털 출력) 7.8 kHz
  6. 아날로그 출력 (전압 / 전류)
  7. Ethernet, EtherCAT
  8. 모듈식 구조 – 최대 8개 채널
  9. 외장형 또는 내장형 프리앰프
  10. 웹 인터페이스를 통한 간편한 설정 및 구성
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Micro-Epsilon Korea Ltd.
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최대 분해능

capaNCDT 6500 시스템은 서브나노미터 분해능을 요구하는 측정 작업을 위해 설계된 제품입니다. 본 제품은 반도체 산업의 포지셔닝 작업과 실험실에서 사용될 때 그 장점이 빛을 발합니다. 모듈 타입의 capaNCDT 6500은 다채널 어플리케이션을 위해 제작되었으며 최대 8대의 센서가 프리앰프 모듈을 통해 신호 처리기에 연결됩니다.

웹 인터페이스가 탑재된 노트북

웹 인터페이스를 통한 손쉬운 사용

인터페이스가 사용자 친화적인 이유로 컨트롤러와 센서를 구성 및 설정함에 있어 그 어떤 추가적인 소프트웨어가 필요하지 않습니다. Ethernet을 통해 웹 인터페이스에 액세스 가능하며 필터, 산술 연산, 그리고 트리거링, 측정값 저장, 선형화와 같은 유용한 파라미터에 대한 설정 및 설정 옵션을 제공합니다.

Controller capaNCDT 6530 - Capacitive controller with sub-nanometer resolution

정전용량변위센서 컨트롤러 DT6530은 정전 용량 변위 측정을 위해 높은 분해능과 신호 안정성을 제공합니다. 컨트롤러는 최대 8개 채널로 작동 가능하며 전기 전도체뿐만 아니라 절연체 측정에도 적합합니다. 또한 해당 컨트롤러는 아날로그 출력 외에도 Ethernet 디지털 인터페이스를 제공하며 DT6530 컨트롤러는 모든 capaNCDT 시리즈 센서 및 케이블과 호환됩니다.

특징

  1. 동적 분해능 0.002 % FSO (8.5 kHz)

  2. 주파수 응답 8.5 kHz (-3 dB) (20 Hz; 1 kHz; 8.5 kHz 전환 가능)

  3. 아날로그 출력 0 ~ 10V (합선 방지), 4 ~ 20 mA; 0 ~ 20 mA

  4. 디지털 인터페이스 Ethernet 24 Bit; EtherCAT

  5. 별도 캘리브레이션: 표준 케이블 길이의 최대 4배

Mounting frame for double-sided thickness measurement

마운팅 프레임은 양면 두께 측정 시 정전용량변위센서와 함께 사용될 수 있도록 설계되었으며 측정 지점을 서로 얼라인 하는 데 사용됩니다. 프레임을 사용할 경우 센서를 하나의 축에 정확히 배치할 수 있기 때문에 측정 포인트가 완전히 일치하게 정렬됩니다. 이를 통해 오프셋 측정을 방지하고 가능한 최대 정밀도로 신뢰할 수 있는 측정 결과를 도출하게 됩니다. 마운팅 프레임은 최대 6대의 센서를 장착할 수 있는 공간을 제공하며 두 대의 센서가 하나의 측정 포인트를 구성합니다.

특징

  1. 최대 3개 지점에서 동시에 멀티 트랙 두께 측정

  2. 최대 100°C의 온도에서 정밀한 측정을 위한 높은 온도 안정성

  3. 진공용으로 적합

  4. 초소형 설계

  5. 기존 시스템에 쉽게 설치 및 장착 가능

  6. capaNCDT 센서와 호환

  7. 고정밀한 두께 측정을 위해 캘리브레이션 가능한 설계 구조

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