전기 전도성 필름의 고정밀 두께 측정
정전용량변위센서를 이용한 시스템 TFG6220은 배터리 필름과 같은 전기 전도성 필름의 두께를 최고 수준의 정밀도로 측정하는 데 사용됩니다. 진공 장치를 이용해 측정 타겟을 흡착하고 매끄럽게 만든 뒤, 주름이 없는 평평한 상태를 유지 및 고정함에 따라 매우 우수한 정밀도로 측정하기 때문입니다. 본 시스템은 오프라인에서 랜덤 샘플을 검사하는 데 사용됩니다. 그 밖에도 TFG6220은 조립이 완료된 상태로 출고됨에 따라 사용자가 신속하게 세팅하고 사용할 수 있습니다.
고정밀 테스트를 통한 신뢰할 수 있는 품질
TFG6220의 측정 브라켓에는 센서와 capaNCDT 컨트롤러가 설치되어 있습니다. 정전용량변위센서 2대를 이용해 두께를 연산하며, 외부에 연결된 진공 장치를 통해 측정 대상체를 자동으로 평탄화하는 과정을 거칩니다. 그리고 이를 통해 마이크로미터 정밀도의 결과를 도출합니다.
측정 브라켓 상단에 영구적으로 설치된 정전용량변위센서 (1)는 측정 대상체 (2)까지 거리를 측정합니다. 측정 삽입부 (3)에서는 측정 대상체를 진공 흡착하고 고정할 수 있는 레퍼런스 면을 제공합니다. 이후 하단부에 있는 정전용량변위센서 (4)는 측정 삽입부까지의 거리를 측정하며 접촉면의 기계적 오프셋을 보정합니다.