나노미터 정밀도로 절대 거리를 측정하는 백색광 간섭계
새롭게 출시된 백색광 간섭계 IMS5400-DS는 산업용 거리 측정 분야에 있어 새로운 지평을 여는 제품입니다. 컨트롤러에는 지능형 평가 기능이 탑재되어 있어 상대적으로 넓은 오프셋 거리에서도 나노미터 정밀도로 절대 측정이 가능합니다. 특히 절대 측정이 가능한 여타 다른 광학 시스템과 비교해본다면, IMS5400-DS는 정밀도, 측정 범위, 오프셋 거리의 우수한 조합이 최고 수준에 달함을 알 수 있습니다.
나노미터 분해능으로 절대 거리 측정
IMS5400-DS는 변위와 거리를 고정밀하게 측정하는 데 사용됩니다. 기존 간섭계와 달리 IMS5400-DS는 스텝 프로파일의 안정적인 측정이 가능하며, 그 밖에도 절대 측정 방식을 이용해 높은 신호 안정성과 정밀도로 단차를 스캔할 수 있습니다. 따라서 이동 중인 대상체 측정 시 높이, 단차, 움푹 패인 영역의 높낮이를 안정적으로 측정합니다.
멀티 피크 거리 측정
투명한 타겟을 대상으로 멀티 피크 거리를 측정하는 경우, 최대 14개의 거리 값을 동시다발적으로 평가합니다. 이는 예를 들어 글라스와 캐리어 플레이터 간의 거리를 결정하는 데 사용되는 데, 컨트롤러는 거리 값을 이용해 글라스의 두께 값을 연산할 수 있습니다.
산업 환경에 적합
센서의 내구성이 매우 견고하고, 또한 컨트롤러 하우징이 메탈 타입이라는 점에 있어 이들 제품은 생산 라인에 설치하는 데 있어 매우 이상적입니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 이용해 제어 캐비닛에 설치 가능하며 능동 온도 보정 기능과 수동 냉각 기능으로 매우 안정적인 측정이 가능합니다. 컴팩트한 이들 센서는 매우 공간 효율적일 뿐만 아니라 협소한 공간에 용이하게 설치될 수 있습니다. 그 밖에도 유연성이 뛰어난 광화이버 케이블은 최대 10 m의 길이를 자랑함에 따라 센서와 컨트롤러를 서로 다른 공간에 설치할 수 있습니다. 또한 시운전 및 파라미터 설정은 웹 인터페이스를 통해 간편하게 수행되며 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.
초소형 광 스폿을 이용한 미세 디테일 및 구조 측정
센서는 전 측정 범위에 걸쳐 아주 작은 크기의 스폿을 생성합니다. 이들 스폿의 직경은 단 10 µm에 불과하며 이를 이용해 반도체나 소형 전자 부품의 구조와 같은 미세한 디테일을 검출합니다.
다양한 표면 측정
간섭계 측정 방식을 이용해 다양한 표면을 측정하며, 이를 통해 유광 금속, 플라스틱, 글라스까지 거리를 고정밀하게 측정할 수 있습니다.
까다로운 환경에서도 사용 가능한 다양한 제품군
| 제품명 | 측정 범위 / 측정 시작점 (SMR) |
직선성 | 측정 가능한 레이어 개수 | 적용사례 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-DS19 | 2.1 mm / 약 19 mm | ±50 nm | - | 산업 분야 내 거리 측정 (예: 정밀 제조) |
| IMS5400-DS19/VAC |
클린룸 및 진공 환경 내 고정밀 포지셔닝 및 거리 측정 (예: 디스플레이 제조 공정 중 마스크 포지셔닝) |
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| IMS5400MP-DS19 | 거리 측정: 2.1 mm / 약 19 mm 두께 측정: 0.01 ~ 1.3 mm (BK7, n=1.5인 경우) / 약 19 mm |
최초 거리 측정 시: ±50 nm 이후 추가 거리 측정 시: ±150 nm |
최대 13개 레이어 | 산업 분야 내 거리 및 두께 측정 (예: 평판 유리 제조) |
| IMS5400MP-DS19/VAC | 클린룸 및 진공 환경 내 고정밀 거리, 두께 측정 (예: 디스플레이 제조 공정 중 거리 및 갭 측정) |
인터페이스 및 신호 처리 장치
기계와 시스템에 설치하기 위한 최신식 인터페이스
컨트롤러는 Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 내장형 인터페이스를 제공할 뿐만 아니라 추가 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력, 디지털 I/O를 제공합니다. 만일 Micro-Epsilon사의 인터페이스 모듈을 사용할 시, PROFINET과 EthernetIP 역시 사용할 수 있는 관계로 간섭계를 모든 제어 시스템 및 생산 프로그램에 통합할 수 있습니다.
