์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์๋ฅผ ์ด์ฉํ ๊ณ ์ ๋ฐ ๊ฑฐ๋ฆฌ ์ธก์
Micro-Epsilon์ฌ์ ์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์๋ ๋ณ์, ๊ฑฐ๋ฆฌ, ๊ฐญ, ๋๊ป ์ธก์ ์์ ์ต๋ ์์ค์ ์ ๋ฐ๋๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋ํ ๋ค์ํ ์ค๊ณ ํ์ ์ผ๋ก ์ ๊ณต๋์ด ์ฅ๋น ์กฐ๊ฑด์ ๋ง๊ฒ ์ ์ฉํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ฐ์ํ ์ง์ ์ฑ, ์จ๋ ์์ ์ฑ, ๋ถํด๋ฅ์ ๋ฐํ์ผ๋ก ๋ฐ์ด๋ ์ฑ๋ฅ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
ํน์ง
- ๋ค์ํ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ์ง์ํ๋ ์ธ๊ณ ์ต๊ณ ์์ค์ ํญ๋์ ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์ผ์ ํฌํธํด๋ฆฌ์ค
- ์ฅ๋น ํตํฉ๊ณผ ๊ธฐ์กด ์์คํ ์ ์ฉ์ด ์ฌ์ด ์ด์ํ ์ผ์ ์ค๊ณ
- ๋์ฑ ํฅ์๋ ์ ๋ฐ๋: ์์ฃผ ์ ํํ ์ธก์ , ๋งค์ฐ ๋ฐ์ด๋ ์จ๋ ์์ ์ฑ, ์ฅ์๊ฐ ์ด์ฉ ์์๋ ์์ ์ ์ธ ์ธก์ ์ฑ๋ฅ
- ๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์ ์ต์ ํ๋ ์ค๊ณ: -270 ~ +800ยฐC, UHV, ๊ฐํ ์๊ธฐ์ฅ ํ๊ฒฝ
- OEM ์์ฐ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ง์ถ ๋ง์ถค ๊ตฌ์ฑ
ํ๋์ ๋ณด๋ ์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์
์ํตํ ํ์ค ์ผ์
์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์ CSx ๋ฐ CS-x๋ ์์ฃผ ๋ฐฉํฅ ํด๋จํ ๋๋ ํฌ์ธํธ ํด๋จํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ๋ ์ํตํ ๋ณ์์ผ์์ ๋๋ค. CS-x ๋ชจ๋ธ์ ๊ฐํธํ๊ณ ์ผ๊ด๋ ์ค์น๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ๋๋ก, ์ต์ ์ ํด๋จํ ์์น์ ๋ง์ถฐ ํ์ฐ์ง ์ง๊ฒฝ์ด ์ฝ๊ฐ ๋ ํฌ๊ฒ ์ค๊ณ๋์ด ์์ต๋๋ค. ๋ํ ์ปค๋ฅํฐ ์์ผ์ด ๋ด์ฅ๋์ด ์์ด ์ผ์ ์ฐ๊ฒฐ์ด ๊ฐํธํ๋ฉฐ, ๋ค์ํ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ๊ณผ ํจ๊ป ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.05 | 0.2 | 0.25 | 0.5 | 0.8 | 1 | 2 | 3 | 5 | 10
- ์ง์ ์ฑ: 0.125 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.015 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +200ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 3 mm ~
- ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ
๋ค์ด๋ก๋
๋งค์ฐ ์ปดํฉํธํ ์ค๊ณ์ ์ํตํ ์ผ์
CSE ์ผ์๋ ๋์ผํ ์ธก์ ๋ฒ์๋ฅผ ์ง์ํ๋ ๊ธฐ๋ณธ CSx ๋ฐ CS-x ๋ชจ๋ธ๋ณด๋ค ๋์ฑ ์ปดํฉํธํ๊ฒ ์ค๊ณ๋ ์ํตํ ๋ณ์์ผ์์ ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ค์น ๊ณต๊ฐ์ด ๋งค์ฐ ์ ํ์ ์ธ ํ๊ฒฝ์๋ ํนํ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋ํ ์์ฃผ ๋ฐฉํฅ ํด๋จํ ๋๋ ํฌ์ธํธ ํด๋จํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์ธก์ ๋ฒ์์ ๋ฐ๋ผ ์ปค๋ฅํฐ ๋๋ ๋ด์ฅํ ์ผ์ด๋ธ ํ์ ์ผ๋ก ์ ๊ณต๋ฉ๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.1 | 0.25 | 0.5 | 1 | 1.25 | 2 | 3
- ์ง์ ์ฑ: 0.25 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.03 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +200ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 3 mm ~
- ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ
- ์ปดํฉํธํ ์ค๊ณ
๋ค์ด๋ก๋
๊ณ ์ ๋ฐ ์ํตํ ๋ณ์์ผ์
์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์ CSH๋ ์ต๋ ์์ค์ ์ ๋ฐ๋๊ฐ ์๊ตฌ๋๋ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ์ ํฉํ ์ํตํ ์ผ์์ ๋๋ค. ๋ํ ์์ฃผ ๋ฐฉํฅ ํด๋จํ ๋๋ ํฌ์ธํธ ํด๋จํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ด์ฅํ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ด ์ ์ฉ๋์ด ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2
- ์ง์ ์ฑ: 0.08 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.06 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +200ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 7 mm ~
- ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ
๋ค์ด๋ก๋
๋์ฌ์ฐ ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์ ์ฉ๋ ์ํตํ ์ผ์
CSE/Mx ์ผ์๋ ๋์ฌ์ฐ์ด ๋ด์ฅ๋ ๊ตฌ์กฐ๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ์ธก์ ์์น์ ์ง์ ์ฒด๊ฒฐํ ์ ์์ผ๋ฏ๋ก, ํด๋จํ ๋ฐฉ์์ผ๋ก ๊ณ ์ ํ ์ ์๋ ๊ฒฝ์ฐ์ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋ํ ์ปค๋ฅํฐ ์์ผ์ด ๋ด์ฅ๋์ด ์์ด ์ผ์ ์ฐ๊ฒฐ์ด ๊ฐํธํ๋ฉฐ, ๋ค์ํ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ๊ณผ ์กฐํฉํด ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.5 | 1.25 | 2 | 3
- ์ง์ ์ฑ: 0.25 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.15 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +200ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 7 mm ~
- ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ
๋ค์ด๋ก๋
ํ๋ซ ํ์ ์ผ์
์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์ CSHxFL์ ํ๋ซ ํ์ ์ค๊ณ๋ฅผ ์ ์ฉํด ์ํตํ ๋ชจ๋ธ๋ณด๋ค ์ค์น ๋์ด๋ฅผ ๋ฎ์ถ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ์ปดํฉํธํ ๊ตฌ์กฐ๋ก ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ด ๋ด์ฅ๋์ด ์์ผ๋ฉฐ, ํ์ฐ์ง์ ๋ง๋ จ๋ ๋ง์ดํ ํ์ ์ด์ฉํด ์ธก์ ์์น์ ์ฝ๊ฒ ๊ณ ์ ํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3
- ์ง์ ์ฑ: 0.08 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.06 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +200ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 7 mm ~
- ์ฐ์ํ ์จ๋ ์์ ์ฑ
- ๊ณต๊ฐ ์ ์ฝํ ์ค์น๊ฐ ๊ฐ๋ฅํ ํ๋ซ ํ์ ์ค๊ณ
๋ค์ด๋ก๋
๊ฐญ ์ผ์
CSG ๋ฐ CSF ๊ฐญ ์ผ์๋ ๋งค์ฐ ์์ PCB ๊ตฌ์กฐ๊ฐ ์ ์ฉ๋์ด ๊ฐญ ์ธก์ ์ ํนํ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋จผ์ CSF ์ผ์์ ๊ฒฝ์ฐ, ๋จ์ผ๋ฉด์์ ๊ฐญ์ ์ธก์ ํ๋ฏ๋ก, ํ์ชฝ์ด ๊ณ ์ ๋ ์กฐ๊ฑด์ ๋ฌผ๋ก ์ ๊ฒ์ด๋ ์๋น์ค ์์ ์๋ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ฉด, CSG ์ผ์๋ ๋ ๊ฐ์ ๊ฐ๋ณ ๊ฑฐ๋ฆฌ๊ฐ์ ๋ฐํ์ผ๋ก ๊ฐญ์ ๋๋น๊ฐ์ ์ฐ์ถํ๋ฏ๋ก ์์ชฝ ๋ฉด์ด ๋ชจ๋ ์์ง์ด๋ ์กฐ๊ฑด์ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๋ ๋ฉด์ด ๋ชจ๋ ์์ง์ด๋ ๊ฐญ ์ธก์ ์ ์ ํฉํ๋ฉฐ, ๋ ๊ฐ์ ํ์ ๋กค๋ฌ ์ฌ์ด์ ๊ฐ์ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.5 | 1 | 2 | 4 | 6
- ์ง์ ์ฑ: 0.5 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.15 nm ~
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ์ฝ 10 x 10 mm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ (+100) +150ยฐC
๋ค์ด๋ก๋
์ต๋ 800ยฐC ํ๊ฒฝ์์๋ ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ์ํตํ ์ผ์
CSE/HT ์ผ์๋ ์ต๋ +800ยฐC๊น์ง ๋์ํ๋ ๋งค์ฐ ๋์ ์จ๋ ๋ฒ์๊ฐ ํน์ง์ ๋๋ค. ๋ํ ๋ด์ฅํ ๊ณ ์จ์ฉ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ด ์ ๊ธฐ์ฅ ๋ฐ ์๊ธฐ์ฅ์ผ๋ก ์ธํ ๊ฐ์ญ์ ๋ณด์ ํ๋ฏ๋ก, ๋์ ์จ๋ ์์ ์ฑ๊ณผ ๋งค์ฐ ์ฐ์ํ ์ง์ ์ฑ๊ณผ ํจ๊ป ๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์์๋ ์์ฃผ ์ ํํ ์ธก์ ๊ฒฐ๊ณผ๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์์ธ๋ฌ ๋ณธ ์ผ์๋ ์์ฃผ ๋ฐฉํฅ ํด๋จํ๋ฅผ ์ด์ฉํด ์ฝ๊ฒ ์ค์นํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ด์ฅํ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ ์ถ๊ฐ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ ์ฌ์ฉํด ์ฐ์ฅํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 1 | 2 | 5 | 10
- ์ง์ ์ฑ: 0.5 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 10 nm ~
- ๋์ ์จ๋ ๋ฒ์: -50 ~ +800ยฐC
- ๋์์ฒด ์ง๊ฒฝ: ร 8 mm ~
๋ค์ด๋ก๋
๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์ ์ ํฉํ ๊ฒฌ๊ณ ํ ๋ด๊ตฌ์ฑ์ ์ผ์
CSH/SE ๋ฐ CSH/FL/SE ์ผ์๋ ์ด์ ์จ์ด๋ ๊ฐํ ์๊ธฐ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ ๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์ ๋ง์ถฐ ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ๋ํ ํด๋ฆฐ๋ฃธ ๋ฐ UHV ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์๋ ์ ํฉํฉ๋๋ค. ๋ณธ ์ผ์๋ ์ํตํ ๊ตฌ์กฐ (CSH/SE)์ ํ๋ซ ํ์ ์ผ์ (CSH/FL/SE)๋ก ์ ๊ณต๋ฉ๋๋ค.
ํน์ง
- ์ธก์ ๋ฒ์ (mm): 0.2 | 0.5 | 1 | 1.2 | 2 | 3 | 5
- ์ง์ ์ฑ: 0.25 ยตm ~
- ๋ถํด๋ฅ: 0.075 nm ~
- ์จ๋ ๋ฒ์: -270 ~ +200ยฐC
- ์ด์ ์จ, ํด๋ฆฐ๋ฃธ, UHV, ๊ฐํ ์๊ธฐ์ฅ ๋ฑ ๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์ ์ ํฉ
๋ค์ด๋ก๋
Data Sheet capaNCDT CSH/SE / capaNCDT CSH/FL/SE
์ค์น ๊ณต๊ฐ์ด ๋งค์ฐ ์ ํ์ ์ธ ํ๊ฒฝ์ ์ ํฉํ ์ด์ํ ์ผ์
Micro-Epsilon์ฌ๋ ํ์ํ ๊ณต๊ฐ์๋ ์ค์นํ ์ ์๋๋ก ๋งค์ฐ ์ปดํฉํธํ ์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ง๊ฒฝ 3 mm์ ์ํตํ ์ผ์, ๋๊ป 0.35 mm์ ๋งค์ฐ ์์ ํ๋ซ ํ์ ์ผ์, ์ ์ฐํ๊ฒ ๊ตฌ๋ถ๋ฆด ์ ์๋ PCB ๋ฒ์ ๊น์ง ๋ค์ํ๊ฒ ์ ๊ณต๋๋ฏ๋ก, ์ธก์ ์ ํ์ํ ๊ณต๊ฐ์ ์ต์ํํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ์ธก์ ๋ฒ์๊ฐ ์ผ์ ๋ฐ๋ก ์์์๋ถํฐ ์์๋๋ฏ๋ก, ์ค์น ๊ณต๊ฐ์ ๋์ฑ ํจ์จ์ ์ผ๋ก ํ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
์ต๋ ์์ค์ ์ ํธ ์์ ์ฑ์ ๊ตฌํํ๋ ์ผ์ถ ์ค๊ณ
Micro-Epsilon์ฌ์ ์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์๋ ๊ธฐ์กด ์ผ์์ ์ฐจ๋ณํ๋๋ ์ผ์ถ ๊ตฌ์กฐ๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ๋ด์ฅ๋ ๊ฐ๋๋ง์ ๋งค์ฐ ๊ท ์ผํ ์ธก์ ํ๋๋ฅผ ํ์ฑํ๋ฉฐ, ์ด๋ฅผ ํตํด ๋งค์ฐ ์์ ์ ์ธ ์ ํธ ํ์ง๊ณผ ์์ฃผ ์ ํํ ์ธก์ ์ ๊ตฌํํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ์ ๊ธฐ์ ์ผ๋ก ์ฐจํ๋ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ์ ์ธ๋ถ ๊ฐ์ญ์ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ์ค์ฌ์ฃผ๋ฏ๋ก, ๋ ธ์ด์ฆ๊ฐ ์ ๊ณ ์ ๋ขฐ์ฑ ๋์ ์ธก์ ์ ํธ๋ฅผ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
์ธก์ ๊ณผ์ ์ ๋ง๋ ์ต์ ์ ์ผ์
Micro-Epsilon์ฌ๋ ๋ค์ํ ๋ชจ๋ธ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ ํญ๋์ ์ ์ ์ฉ๋๋ณ์์ผ์ ํฌํธํด๋ฆฌ์ค๋ฅผ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ์ค์น ์กฐ๊ฑด์ ๋ฐ๋ผ ์ํตํ, ํ๋ซ ํ์ , ๋์ฌ์ฐ ๋ด์ฅํ, ์ ์ฐํ PCB ํ์ ์ค ์ ํฉํ ์ ํ์ ์ ํํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ํ ํ์ฐ์ง๊ณผ ํฌํ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ์ต์ ํ๋์ด ์์ด ๋๋ถ๋ถ์ ํ๊ฒฝ์ ์ ์ฐํ๊ฒ ํตํฉํ ์ ์์ต๋๋ค:
์ธก์ ๋ฒ์ ํ์ฅ ๋ฐ ์ถ์ ๊ฐ๋ฅ
ํ์ฉ์ฑ์ ๋์ด๊ธฐ ์ํด, ์ธก์ ๋ฒ์๋ ์ถ๊ณ ์ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ ํตํด ์ผ์ ๋น์จ (์: 0.5๋ฐฐ ๋๋ 2๋ฐฐ)๋ก ํ์ฅํ๊ฑฐ๋ ์ถ์ํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋ผ์ ๊ธฐ์กด ์ผ์ ์ค๊ณ๋ฅผ ๋ ๋์ ์ธก์ ๋ฒ์์ ๊ทธ๋๋ก ์ ์ฉํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ๋ฐ๋๋ก ์ธก์ ๋ฒ์๋ฅผ ์ค์ฌ ์ธก์ ์ ํ๋๋ฅผ ๋์ฑ ๋์ด๋ ๊ฒ ์ญ์ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค.
์ง๊ณต ๋ฐ ๋๊ป ์ธก์ ์ ์ํ ์ก์ธ์๋ฆฌ
๋ค์ํ ์ก์ธ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ด์ฉํด ์ผ์๋ฅผ ๋ค์ํ ์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์ ์ ๋ง๊ฒ ์ต์ ํํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ฌ๊ธฐ์๋ ํผ๋์ค๋ฃจ์ ์ง๊ณต ํธํ ์ผ์ ์ผ์ด๋ธ๊ณผ ๊ฐ์ ์ง๊ณต์ฉ ๊ตฌ์ฑํ์ ๋ฌผ๋ก , ํน์ ์ธก์ ์์ ์ ๋์ํ๊ธฐ ์ํ ๋ง์ถคํ ์ผ์ด๋ธ ๊ธธ์ด ๋ฐ ์ฐ์ฅ ์ต์ ์ญ์ ํฌํจ๋ฉ๋๋ค. ๋ํ ์๋ฉด ๋๊ป ์ธก์ ์ ์ํ ์ต์ ์ผ๋ก ์ ๊ณต๋๋ ๋ง์ดํ ๋ธ๋ผ์ผ์ ์ฌ์ฉํ๋ฉด ๋ฉํฐ ํธ๋ ๊ตฌ์ฑ์ด ๊ฐ๋ฅํ๋ฉฐ, ํ์ ์ ์บ๋ฆฌ๋ธ๋ ์ด์ ์ญ์ ๊ฐ๋ฅํฉ๋๋ค. ์์ธ๋ฌ ๊ฐญ (Gap)์ผ์์ฉ ์์ด ํผ์ง ์ต์ ์ ์ ์ฉํ ๊ฒฝ์ฐ, ๊น๋ค๋ก์ด ํ๊ฒฝ์์๋ ๋์ฑ ์์ ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค.



















