웨이퍼의 휨 및 뒤틀림

공초점변위센서는 웨이퍼의 표면을 스캔하여 휨, 뒤틀림, 왜곡을 감지합니다. confocalDT 컨트롤러는 변화가 빠른 환경에서도 우수한 측정 속도로 안정적인 결과를 제공하며 짧은 사이클 시간 내에 웨이퍼를 검사할 수 있습니다.