반사율이 높은 표면의 정밀 검사 및 측정

측정 대상체에 일정한 줄무늬 패턴의 빛을 비접촉식으로 투사합니다. 반사율이 높은 표면에서 해당 패턴이 반사되면, 두 대의 카메라가 반사된 줄무늬 패턴의 미세한 변화와 변형을 감지합니다.

이후 센서는 촬영된 연속 이미지를 바탕으로 고해상도 2D 위상 이미지를 생성하며, 이를 통해 표면의 미세한 결함까지 안정적으로 검출하고 평가할 수 있습니다. 또한 3D 측정 기능을 지원하는 reflectCONTROL 모델은 위상 정보를 추가로 활용하여 표면의 3차원 형상을 나타내는 포인트 클라우드를 생성합니다.

센서 모델에 따라 측정 데이터를 추가로 처리하여 자동 결함 검출, 표면 검사, 3D 형상 측정에 활용할 수 있습니다.

Micro-Epsilon사의 3D 표면 측정 센서는 반사된 빛의 패턴 변화를 분석하는 편향 측정법 (Deflectometry)을 이용해 표면을 아주 정확하게 검사합니다. 비접촉식 측정 방식과 우수한 분해능을 바탕으로 미세한 형상 편차부터 표면의 굴곡 및 국부적인 결함까지 정확하게 검출합니다. 이를 통해 반도체 산업을 비롯해 광학 부품, 유리 표면, 디스플레이, 도장 및 연마 부품 등 다양한 분야에 활용됩니다.

또한 개별 부품의 품질 검사는 물론, 생산 라인의 자동 인라인 검사까지 폭넓게 활용할 수 있습니다. 그리고 이를 통해 제조 공정에서 결함을 조기에 발견하고 불량품 발생과 재작업을 줄여 일관된 제품 품질을 유지할 수 있습니다.