고객의 별도 요구 사항을 충족시키기 위한 거리 & 두께 측정용 공초점변위센서
confocal IFS2406 시리즈는 컴팩트한 설계와 더불어 높은 정밀도가 돋보이는 제품입니다. 센서는 반사되는 표면과 투명한 표면까지 거리를 측정하는 것은 물론 투명 필름, 플레이트, 레이어의 단면 두께를 측정합니다. 측정 방향은 축 방향과 방사형으로 크게 나뉘며 IFS2406-2,5 센서는 다양한 어플리케이션에 사용될 뿐만 아니라 진공 환경에서도 사용 가능합니다.
confocalDT IFS2406
- 측정 범위 (mm): 2.5 | 3 | 10
- 최대 직선성 0.75 µm
- 최대 분해능 18 nm
- 거리 및 단면 두께 측정
- 소형 스폿
- 진공 환경에서 사용 가능
confocalDT IFS2406-3/VAC(001)
- 측정 범위 (mm): 3
- 최대 직선성 1.5 µm
- 최대 분해능 50 nm
- 거리 및 단면 두께 측정
- 소형 스폿
- 진공 환경에서 사용 가능
