공초점변위센서를 이용한 고정밀 거리, 조도 & 두께 측정
confocalDT IFS2407 센서는 거리, 조도, 두께를 고정밀하게 측정하기 위해 설계되었습니다. 이들 센서는 큰 개구수, 초소형 측정 스폿, 넓은 측정 각도를 허용한다는 특징을 지니고 있어 조도를 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 뿐만 아니라 센서는 나노미터의 정밀도를 자랑합니다.
confocalDT IFS2407-0,1
- 측정 범위 (mm): 0.1
- 직선성: 최대 0.05 µm
- 분해능: 최대 3 nm
- 거리 및 조도 측정에 적합
- 고속 공정을 위한 광집약형 센서 (NA 0.7)
- 초소형 측정 스폿: 3 µm
- 고감도 및 넓은 측정 각도
- 5 µm 이상의 투명체 두께 측정
confocalDT IFS2407-0,8
- 측정 범위 (mm): 0.8
- 직선성: 최대 0.2 µm
- 분해능: 최대 24 nm
- 초소형 측정 스폿
- 초소형 사이즈로 공간 절약형 설치 구현 가능
- 굴곡진 표면에서도 정확한 거리 측정
- 얇은 층의 두께 측정에 적합
confocalDT IFS2407-1,5
- 측정 범위 (mm) 1.5
- 5.5 µm의 초소형 측정 스폿
- 측정 각도 ± 43°
- 광집약형 모델 (NA > 0.7)
- 곡률이 크거나 반사 재질의 표면에서도 안정적으로 측정
- 구조화된 표면 역시 높은 정밀도로 측정
confocalDT IFS2407-3
- 측정 범위 (mm): 3
- 직선성: 최대 0.5 µm
- 분해능: 최대 13 nm
- 약 28 mm의 큰 오프셋 거리
- 최대 측정 각도 ± 30°
- 굴곡지거나 반사 재질의 표면 측정에 적합
confocalDT IFS2407/90-0,3
- 측정 범위 (mm): 0.3
- 직선성: 최대 0.15 µm
- 분해능: 최대 6 nm
- 변위 및 조도 측정에 적합
- 초소형 측정 스폿: 6 µm
- 고감도 및 넓은 측정 각도
