정전용량변위센서를 이용한 웨이퍼 스테이지 포지셔닝

정전용량변위센서는 웨이퍼 스테이지에서 위치를 정밀하게 조정해야 하는 작업에 사용됩니다. 해당 센서는 스테이지의 여러 지점에서 위치를 측정하여, 웨이퍼 스테이지를 미세하게 정렬하는 데 특히 유용합니다. 삼축 설계로 인해 센서는 전자기장의 영향을 받지 않으며, 나노미터 단위의 정밀도를 달성할 수 있습니다. 또한, 센서는 매우 높은 장기적인 안정성을 제공하여 지속적으로 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다. 또한 비접촉식 센서로, 진공 환경에서도 문제없이 사용할 수 있으며, 초고진공 (UHV) 환경에서도 안정적으로 사용 가능합니다.