리소그래피 장비에서 렌즈 시스템 포지셔닝

비접촉 방식의 유도식 변위센서 (와전류변위센서)는 렌즈 요소의 위치를 정확히 측정하여 이미지 품질을 극대화합니다. 렌즈 시스템에 따라 Micro-Epsilon사의 변위센서는 최대 6자유도에서 움직임과 위치를 감지하는 데 사용됩니다. 또한, eddyNCDT 센서는 높은 주파수 응답을 제공하여 렌즈 시스템의 매우 동적인 움직임까지도 모니터링할 수 있습니다.