환형 톱의 축 방향 움직임 모니터링

환형 톱은 실리콘 잉곳을 절단하는 데 사용됩니다. 잉곳을 정확하게 분리하기 위해 와전류변위센서를 사용하여 톱날 또는 홀더를 모니터링합니다. 총 네 대의 센서가 비접촉 방식으로 톱날 지지대까지의 거리를 측정합니다. 또한 뛰어난 주파수 응답성과 분진 및 오염물에 대한 내성을 바탕으로, 센서는 톱날의 축 방향 편차에 대한 정확한 측정값을 제공합니다. 그리고 이를 통해 실리콘 웨이퍼를 균일하고 정밀하게 절단할 수 있습니다.