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interferoMETER 5200-TH

초박막 레이어를 정밀하게 측정

1 µm 두께의 소재 측정 가능

서브나노미터 분해능

백색광 간섭계를 이용해 서브마이크미터 정밀도로 두께 측정

IMS5200-TH는 빠르고 안정적인 두께 측정을 위한 새로운 기준을 제시하는 백색광 간섭계입니다. 또한, 컨트롤러는 지능형 평가 기능을 내장하고 있어 1 µm 두께의 얇고 투명한 레이어도 정밀하게 측정할 수 있습니다. 여기에, 최대 24 kHz의 측정 속도를 바탕으로 IMS5200 시리즈는 산업 현장에 최적화되어 있습니다. 특히, 1 µm 두께의 소재도 나노미터 단위 정밀도로 측정할 수 있습니다.

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특징

  1. 최대 24 kHz의 속도로 빠르고 안정적인 측정
  2. 넓은 작동 범위로 설치 용이
  3. 정밀한 코팅 두께 측정: 1 µm ~ 100 µm
  4. 멀티 피크 기능: 최대 5개 레이어 측정 가능
  5. 견고한 내구성의 메탈 하우징을 탑재한 산업용 센서
  6. 진공 환경 내 사용 가능
  7. 웹 인터페이스를 통한 손쉬운 설정
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Micro-Epsilon Korea Ltd.
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두 개의 유리판 사이 에어갭 (n~1)을 측정하는 경우 측정 범위는 1.5 ~ 150 µm입니다. 글라스 두께를 측정하는 경우 (굴절률 ~1.5)측정 범위는 1 µm ~ 100 µm입니다.

측정 거리가 변화하는 환경에서도 안정적인 두께 측정

백색광 간섭계 IMS5200-TH는 우수한 정밀도로 두께를 측정합니다. 해당 제품의 결정적인 이점은 거리와 무관하게 측정이 가능하다는 것인데, 특히 이동 중인 물체를 측정할 때 나노미터 단위의 정확한 두께 값을 도출할 수 있다는 것입니다. 또한 1 ~ 100 µm의 측정 범위를 통해 얇고 투명한 레이어와 필름을 측정할 수 있습니다.

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멀티 레이어 두께 측정

멀티 피크 버전의 컨트롤러를 사용할 경우 여러 개의 신호 피크를 동시에 평가할 수 있습니다. 그리고 이를 통해 투명한 물체와 접합 유리의 멀티 레이어 두께를 측정할 수 있습니다. 또한 컨트롤러는 위치에 상관없이 두께를 매우 안정적으로 측정합니다.

산업 환경에 적합

센서의 내구성이 매우 뛰어나고, 컨트롤러 하우징이 메탈 타입이라는 점에 있어 이들 제품은 생산 라인에 설치하기에 매우 이상적입니다. 컴팩트한 설계와 넓은 작동 범위를 갖춘 본 센서는 설치가 용이하며, 진동이 있는 환경에서도 안정적인 측정 결과를 제공합니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 설치 가능하며 케이블은 최대 10 m의 길이를 자랑함에 따라 센서와 컨트롤러를 서로 다른 공간에 설치할 수 있습니다. 그 밖에도 시운전 및 파라미터 설정은 웹 인터페이스를 통해 간편하게 수행되며 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.

까다로운 환경에서도 사용 가능한 다양한 제품군

제품명 측정 범위 / 측정 범위 시작점 직선성 측정 가능한 레이어 개수 적용 분야
IMS5200-TH26 26 mm ±2 mm / 1 µm ~ 100 µm < 1 nm 1개 레이어 필름 및 글라스 코팅층 등 얇고 투명한 레이어에 대한 고속 & 정확한 인라인 측정
IMS5200-TH26/VAC
IMS5200MP-TH26 최대 5개 레이어