백색광 간섭계를 이용해 서브마이크미터 정밀도로 두께 측정
새롭게 출시된 백색광 간섭계 IMS5400-TH는 산업 분야 내 두께 측정에 있어 새로운 지평을 여는 제품입니다. 특히 컨트롤러에는 지능형 평가 기능이 탑재되어 있어 투명한 대상체의 두께를 높은 정밀도로 측정합니다.
측정 거리가 변화하는 환경에서도 안정적인 두께 측정
백색광 간섭계 IMS5400-TH는 상대적으로 넓은 거리에서도 두께를 정확히 측정합니다. 해당 제품의 결정적인 이점은 거리와 무관하게 측정이 가능하다는 것인데, 특히 이동 중인 물체를 측정할 때 나노미터 단위의 정확한 두께 값을 도출할 수 있다는 것입니다. 또한 측정할 수 있는 두께의 범위가 넓기 때문에 얇은 레이어, 판유리, 필름을 측정할 수 있습니다. 또한 백색광 간섭계가 근적외선 범위의 SLED를 이용하는 까닭에 반사 방지 코팅 처리된 글라스의 두께 역시 측정 가능합니다.
멀티 레이어 측정
멀티 피크 버전의 컨트롤러를 사용할 경우 여러 개의 신호 피크를 동시에 평가할 수 있습니다. 그리고 이를 통해 투명한 물체와 접합 유리의 멀티 레이어 두께를 측정할 수 있게 됩니다. 또한 컨트롤러는 위치와 관계없이 가장 안정적으로 두께 값을 출력합니다.
산업 환경에 적합
센서의 내구성이 매우 견고하고, 또한 컨트롤러 하우징이 메탈 타입이라는 점에 있어 이들 제품은 생산 라인에 설치되기 매우 이상적입니다. 컨트롤러는 DIN 레일 마운팅을 통해 제어 캐비닛에 설치 가능하며 능동 온도 보정 기능과 수동 냉각 기능으로 매우 안정적인 측정이 가능합니다. 컴팩트한 이들 센서는 매우 공간 효율적일 뿐만 아니라 유연성이 뛰어난 광화이버 케이블이 탑재되어 있으며, 케이블은 최대 10 m의 길이를 자랑함에 따라 센서와 컨트롤러를 서로 다른 공간에 설치할 수 있습니다. 그 밖에도 내장된 파일럿 레이저를 이용해 센서를 손쉽고 빠르게 얼라인 할 수 있습니다. 또한 시운전 및 파라미터 설정은 웹 인터페이스를 통해 간편하게 수행되며 소프트웨어 설치 역시 불필요합니다.
까다로운 환경에서도 사용 가능한 다양한 제품군
| 제품명 | 측정 범위 / 측정 시작점 (SMR) |
직선성 | 측정 가능한 레이어 개수 | 적용 사례 |
|---|---|---|---|---|
| IMS5400-TH45 | 0.035 ~ 1.5 mm (BK7, n=1.5인 경우) / 작동 범위가 약 7 mm일 경우, 약 41.5 mm |
±100 nm | 1개 레이어 | 산업용 인라인 두께 측정 (예: 평판 유리 제조 공정 중 단일 레이어의 유리 두께 측정) |
| IMS5400-TH45/VAC |
클린룸 및 진공 환경 내 인라인 두께 측정 (예: 디스플레이 제조 공정 중 클린룸 내 갭 측정) |
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| IMS5400MP-TH45 | ±100 nm | 최대 5개 레이어 | 산업 공정 내 멀티 레이어의 인라인 측정 (예: 평판 유리 제조 공정 중 멀티 레이어의 유리 두께 측정) | |
| IMS5400MP-TH45/VAC |
클린룸 내 멀티 레이어의 인라인 측정 (예: 디스플레이 제조 공정 중 진공 환경 내 멀티 레이어 측정) |
|||
| IMS5400-TH70 |
0.035 ~ 1.5 mm (for BK7, n=1.5) / |
±200 nm | 1개 레이어 | 산업용 인라인 두께 측정 (예: 필름 제조 공정 중 단일 레이어 필름 측정) |
| IMS5400MP-TH70 | ±200 nm | 최대 5개 레이어 | 산업 공정 내 멀티 레이어의 인라인 측정 (예: 필름 제조 공정 중 멀티 레이어 필름 측정) |
인터페이스 및 신호 처리 장치
기계와 시스템에 설치하기 위한 최신식 인터페이스
컨트롤러는 Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 내장형 인터페이스를 제공할 뿐만 아니라 추가 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력, 디지털 I/O를 제공합니다. 만일 Micro-Epsilon사의 인터페이스 모듈을 사용할 시, PROFINET과 EthernetIP 역시 사용할 수 있는 관계로 간섭계를 모든 제어 시스템 및 생산 프로그램에 통합할 수 있습니다.
