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고온형 공초점변위센서 IFS2407


차세대 센서: 최대 200°C의 환경에서 사용 가능한 고온형 센서

진공부터 초고진공 (UHV)환경까지 적용 가능한 설계

정밀 기계 제작 및 반도체 산업에 적합

극한의 200 °C 환경에서도 우수한 성능을 발휘하는 고온형 공초점변위센서

새롭게 출시된 공초점 크로매틱 고온형 센서는 고온·진공 등 까다로운 환경 조건의 측정에 새로운 기준을 제시합니다. Micro-Epsilon사 포트폴리오에 처음으로 추가된 본 광학 센서는 최대 200 °C의 환경에서도 사용 가능할 뿐만 아니라 최고 수준의 측정 정확도를 제공합니다. 또한 컴팩트한 설계와 다양한 측정 범위, 90° 빔 경로 버전을 갖추고 있어 설치 공간이 매우 제한된 어플리케이션에도 적용할 수 있습니다. 아웃개싱 (Outgassing)이 최소화된 설계로 초고진공(UHV) 환경에서도 사용 가능하며, 정밀 기계 제작과 반도체 산업의 측정 작업에 이상적입니다.

confocalDT IFS2407-0,8HT/VAC

  • 측정 범위 (mm): 0.8
  • 직선성: 최대 < ±0,18 µm
  • 분해능: 최대 < 6 nm
  • 아웃개싱이 적음: UHV 및 클린룸 어플리케이션에 적합
  • 극한 환경에서 사용 가능: 최대 200 °C에서도 신뢰성 있는 측정 보장
  • 스테인리스 스틸 소재의 하우징 등급: 1.4404

confocalDT IFS2407-2HT/VAC

  • 측정 범위 (mm): 2
  • 직선성: 최대 < ±0,44 µm
  • 분해능: 최대 < 10 nm
  • 아웃개싱이 적음: UHV 및 클린룸 어플리케이션에 적합
  • 극한 환경에서 사용 가능: 최대 200 °C에서도 신뢰성 있는 측정 보장
  • 스테인리스 스틸 소재의 하우징 등급: 1.4404
  • 90° 타입 레이저 측정 지원

confocalDT IFS2407-4HT/VAC

  • 측정 범위 (mm): 4
  • 직선성: 최대 < ±0,8 µm
  • 분해능: 최대 < 24 nm
  • 아웃개싱이 적음: UHV 및 클린룸 어플리케이션에 적합
  • 극한 환경에서 사용 가능: 최대 200 °C에서도 신뢰성 있는 측정 보장
  • 스테인리스 스틸 소재의 하우징 등급: 1.4404
  • 90° 타입 레이저 측정 지원
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