최고의 분해능을 자랑하는 멀티 채널 타입의 정전용량변위센서
정전용량변위센서는 높은 정밀도를 요구하는 작업에 사용하기 위해 제작된 제품입니다. capaNCDT 6500 다채널 시스템은 서브나노미터 분해능을 자랑함에 따라 높은 신뢰성이 요구되는 측정 작업에 적합하며 컨트롤러의 최고 데이터 전송 속도는 최대 7.8 kHz (디지털, 최대 4채널)또는 8.5 kHz (주파수 응답)입니다. 아날로그 출력 외에도 EtherCAT 인터페이스가 제공됩니다. 또한 EtherCAT 사용 시, 오류 없는 실시간 데이터 전송, 기존 측정 환경에 빠르게 설치, 그리고 두 개의 시스템 동기화가 가능합니다. 그 밖에도 웹 브라우저를 통해 capaNCDT 6500을 쉽게 설정할 수 있습니다.
최대 분해능
capaNCDT 6500 시스템은 서브나노미터 분해능을 요구하는 측정 작업을 위해 설계된 제품입니다. 본 제품은 반도체 산업의 포지셔닝 작업과 실험실에서 사용될 때 그 장점이 빛을 발합니다. 모듈 타입의 capaNCDT 6500은 다채널 어플리케이션을 위해 제작되었으며 최대 8대의 센서가 프리앰프 모듈을 통해 신호 처리기에 연결됩니다.
다운로드
- Data sheet capaNCDT 6500 (pdf, 1.20 MB)
- Operating Instructions capaNCDT 6500 EtherCAT (pdf, 7.94 MB)
- CAD file 3D-model DT6530/C rack, STEP (zip, 5.20 MB)
- sensorTOOL V2.1.0 (exe, 17.85 MB)
- Firmware update DT6530: SW1.5a / FW1.3a / Web-Build 20689 (zip, 1.26 MB)
- Micro-Epsilon EtherCAT ESI file "IF1032" (zip, 38.19 KB)
- MEDAQLib V5.3.1 (zip, 22.86 MB)