웨이퍼 기울기 각도 측정

웨이퍼의 정확한 위치는 웨이퍼 취급 시 매우 중요한 역할을 합니다. 따라서 웨이퍼가 공급되는 과정에서 백색광 간섭계를 사용하여 웨이퍼의 수평 기울기 각도를 측정합니다. 두 대의 간섭계가 웨이퍼를 측정하며, Micro-Epsilon사의 백색광 간섭계는 나노미터 이하의 분해능으로 절대 거리 값을 제공합니다. 이 같은 측정 작업은 웨이퍼를 집거나 제거할 때 위치 정확성을 최대치로 보장합니다.