우수한 정밀도로 실리콘 웨이퍼의 두께 측정

정전용량변위센서는 웨이퍼의 두께를 정밀하게 측정하는 데 사용됩니다. 두 대의 센서가 서로 마주보는 형태로 설치되어 웨이퍼의 두께를 측정하며, 이 과정에서 휨 정도나 톱니 자국 (Saw mark)과 같은 추가적인 파라미터도 함께 확인할 수 있습니다. 또한, 측정 간극 내에서 웨이퍼의 위치가 변동될 수 있기 때문에, 이를 고려한 정밀한 측정이 필요합니다.