Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 웨이퍼의 균열 및 기타 결함을 감지하는 데 사용됩니다. 해당 센서는 빠른 표면 보상 기능을 이용해 반사 특성이 다양한 표면에서도 신뢰성 있게 결함을 검출합니다. 매우 작은 광 스폿과 우수한 분해능을 바탕으로 웨이퍼에서 가장 미세한 결함까지도 신뢰성 있게 감지할 수 있습니다.
