웨이퍼 두께 측정 / TTV

공초점변위센서를 이용해 웨이퍼의 두께 편차 (Total Thickness Variation, TTV)와 양면 두께를 측정합니다. 또한 웨이퍼 두께 프로파일을 기반으로 웨이퍼의 휨 (Bow)과 뒤틀림 (Warp)을 감지할 수 있습니다. 그 밖에도 빠른 측정 속도를 이용해 웨이퍼 전체 두께를 짧은 측정 사이클 내에 감지할 수 있습니다.