리소그래피 장비의 나노미터 단위 포지셔닝

리소그래피 장비는 웨이퍼의 특정 부위를 정밀하게 노광하기 위해 웨이퍼를 정확한 위치로 이동시킵니다. 이때, 정전용량변위센서는 이동 경로를 측정하여 나노미터 단위의 정밀한 위치 제어를 가능하게 합니다.