공초점변위센서를 이용한 렌즈 얼라인먼트 모니터링

공초점변위센서를 이용해 렌즈의 얼라인먼트 상태를 확인합니다. 여러 대의 센서가 렌즈의 표면을 측정하여 기울기 각도를 나노미터 단위의 정확도로 감지합니다. 전자기 센서와 달리, 공초점변위센서는 글라스 표면을 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 빠른 측정 속도를 이용해 렌즈 움직임의 동적인 변화 역시 신뢰성 있게 감지할 수 있습니다.