실리콘 웨이퍼 표면 위 범프 검사 및 측정

Micro-Epsilon사의 공초점변위센서는 실리콘 웨이퍼의 범프를 검사하는 데 사용됩니다. 해당 센서는 웨이퍼 표면에 작은 광 스폿을 생성하여, 우수한 분해능으로 매우 작은 부품과 구조를 정확하게 검사합니다. 이를 통해 범프의 형상과 치수를 정밀하게 측정하여 전기적 연결이 원활히 이루어지도록 합니다.