웨이퍼의 3D 형상 측정

왜곡 정도를 측정하는 디플렉토메트리 reflectCONTROL 시스템은 150 mm 직경의 웨이퍼의 평탄도 또는 평면성을 검사하는 데 사용됩니다. 해당 시스템은 단 한 번의 이미지로 평탄도를 측정합니다. 이를 위해 센서는 웨이퍼에 줄무늬 패턴을 투사하며, 해당 패턴은 내장된 카메라에 의해 기록됩니다. 웨이퍼의 기하학적 변형은 줄무늬 패턴의 왜곡을 초래하며, 이는 소프트웨어를 통해 분석됩니다. 센서는 반사 표면의 3D 형상을 매우 정밀하게 제공하며, 이를 기반으로 토폴로지를 마이크로미터 단위의 정확도로 확인할 수 있습니다.