스핀들 런아웃 측정
고주파 스핀들에서는 툴의 정확한 동심도나 샤프트 회전 불량이 결정적인 역할을 합니다. 이러한 측정을 위해 Micro-Epsilon사의 비접촉식 유도 변위센서는 동심도나 샤프트 회전 불량을 모니터링하는 데 사용됩니다. 와전류 기술을 기반으로 한 해당 센서는 기름과 분진이 있는 환경에서도 우수한 분해능을 제공하며, 이를 통해 마이크로미터 범위의 정확도를 달성할 수 있습니다. 또한, 고주파 응답으로 인해 회전 속도가 120,000 rpm 이상인 고주파 스핀들 역시 모니터링할 수 있습니다. 측정 과정에서는, eddyNCDT 3005 측정 시스템이 축에 부착된 알루미늄 링을 비접촉식으로 측정합니다. 두 대의 센서가 90°씩 반경 방향으로 이동하면서 스핀들과의 거리를 측정하고, 해당 값을 제어 시스템으로 전송합니다.