정전용량변위센서를 이용한 고정밀 거리 측정
정전용량변위센서는 매우 안정적인 신호 품질을 바탕으로 아주 정확히 거리를 측정합니다. 또한 Micro-Epsilon사는 세계 최고 수준의 제품군을 갖춘 기술 선도 기업으로서, 다양한 측정 과제에 대응하는 솔루션을 제공합니다. 당사의 제품군은 컴팩트하면서도 견고한 설계를 갖추고 있을 뿐만 아니라 폭넓은 맞춤 구성도 지원하므로, 여러 산업 분야에 유연하게 적용할 수 있습니다. 따라서 반도체 산업의 아주 정확한 장비 제어부터 배터리 생산 공정의 연속 모니터링까지 폭넓게 활용할 수 있습니다.
Micro-Epsilon - 정전 용량 정밀 측정 기술의 기준을 제시합니다.
한층 더 정확한 거리, 두께, 갭 측정
0.00000003 mm | 새로운 기준을 제시하는 측정 정확도
정전용량변위센서는 최대 30 피코미터의 분해능을 구현합니다. 따라서 극히 미세한 거리 변화까지도 안정적으로 감지할 수 있습니다. 또한 80 나노미터 수준의 직선성을 바탕으로, 매우 뛰어난 정확도와 탁월한 안정성을 동시에 제공합니다.
안정적인 측정 신호를 구현하는 노이즈 억제 설계
Micro-Epsilon사의 정전용량변위센서는 까다로운 어플리케이션에서도 매우 안정적인 신호 품질과 아주 정확한 측정 성능을 제공합니다. 본 설계는 트라이액셜 센서 구조와 전기적으로 차폐된 센서 케이블을 적용한 방식입니다. 따라서 외부 간섭을 효과적으로 줄일 수 있으며, 그 결과 매우 안정적이고 노이즈가 적은 측정 신호를 구현할 수 있습니다.
또 다른 장점으로, 멀티 채널 측정 시 센서를 서로 맞닿게 배치할 수 있으므로 매우 컴팩트한 센서 배열 구성이 가능합니다. 또한 합선 보호 기능 역시 지원하므로 운용 안정성 역시 더욱 높일 수 있습니다.
완벽한 호환성: 다양한 제품을 유연하게 조합
capaNCDT는 뛰어난 유연성, 완벽한 호환성, 아주 정확한 측정 성능을 동시에 제공합니다. 센서, 케이블, 컨트롤러는 서로 완벽하게 호환되므로, 측정 범위가 달라지는 경우에도 빠르고 간편하게 교체할 수 있습니다. 따라서 현장에서 센서를 단 몇 초 만에 바로 교체할 수 있으며, 설비 중단 시간 역시 최소화할 수 있습니다. 또한 아주 정확한 측정이 중요한 어플리케이션에서는 LC 조정을 통해 직선성을 최적화할 수 있습니다. 이처럼 높은 유연성과 우수한 운용 안정성을 동시에 확보할 수 있습니다.
컴팩트한 크기로 장비에 손쉽게 통합 가능
특수한 구조로 설계된 Micro-Epsilon사의 초소형 정전용량변위센서는 장비 내부에 쉽게 적용할 수 있으며, 기존 시스템에도 간편하게 추가 적용할 수 있습니다. 또한 전류 및 전압 출력, RS485, Ethernet, 필드버스를 지원하는 유연한 산업용 인터페이스를 통해 기존 자동화 환경에도 무리 없이 연동할 수 있습니다.
아울러 견고한 센서 및 케이블 구조와 설치 편의성을 고려한 설계 덕분에 빠르고 안전한 시운전이 가능합니다. 또한, 위생 기준이 높은 어플리케이션의 경우 CSF 모델은 세척이 용이해 관리가 편리하며, 설치 공간이 특히 제한적인 환경에도 적용할 수 있는 유연한 PCB 센서를 제공합니다.
정전용량변위센서의 측정 원리
정전용량변위센서는 정전 용량의 변화를 감지하는 원리를 바탕으로 작동합니다. 평행판 커패시터에서는 크기가 일정한 두 전극 사이의 간격을 바꾸거나 측정 갭 내에 유전체를 삽입하면 정전용량이 변화합니다. 이와 같은 정전 용량식 측정 원리에서 센서 (측정 전극)와 전도성 측정 대상체는 이상적인 평행판 커패시터와 같은 역할을 합니다. 또한 센서 커패시터에 일정한 주파수의 교류 전류가 흐르면, 센서에 형성되는 교류 전압의 진폭은 타겟 (접지 전극)까지의 거리에 비례합니다. 그리고 일관된 측정값을 얻기 위해서는 센서와 측정 대상체 사이 매질의 유전율이 일정하게 유지되어야 합니다.
적용사례
