공초점변위센서를 이용한 고정밀 거리, 조도 & 두께 측정

• 최대 200 °C의 주변 온도에서도 안정적인 측정
• 측정 범위 (mm): 0.8 | 2 | 4
• 온도 범위: 최대 200 °C
• 직선성: 최대 < ±0,18 µm
• 분해능: 최대 < 6 nm
• 스테인리스 스틸 하우징 등급: 1.4404
• 초고진공 (UHV)까지 사용 가능
• 90° 버전 제공

고온형 센서와 관련한 추가 정보

• 측정 범위 (mm): 0.1
• 직선성: 최대 0.05 µm
• 분해능: 최대 3 nm
• 거리 및 조도 측정에 적합
• 고속 공정을 위한 광집약형 센서 (NA 0.7)
• 초소형 측정 스폿: 3 µm
• 고감도 및 넓은 측정 각도
• 5 µm 이상의 투명체 두께 측정

• 측정 범위 (mm): 0.8
• 직선성: 최대 0.2 µm
• 분해능: 최대 24 nm
• 초소형 측정 스폿
• 초소형 사이즈로 공간 절약형 설치 구현 가능
• 굴곡진 표면에서도 정확한 거리 측정
• 얇은 층의 두께 측정에 적합

• 측정 범위 (mm) 1.5
• 5.5 µm의 초소형 측정 스폿
• 측정 각도 ± 43°
• 광집약형 모델 (NA > 0.7)
• 곡률이 크거나 반사 재질의 표면에서도 안정적으로 측정
• 구조화된 표면 역시 높은 정밀도로 측정

• 측정 범위 (mm): 3
• 직선성: 최대 0.5 µm
• 분해능: 최대 13 nm
• 약 28 mm의 큰 오프셋 거리
• 최대 측정 각도 ± 30°
• 굴곡지거나 반사 재질의 표면 측정에 적합

• 측정 범위 (mm): 6
• 직선성: 최대 1 µm
• 분해능: 최대 15 nm
• 약 32 mm의 넓은 오프셋 거리 지원
• 측정이 까다로운 표면에서도 빠르고 정밀한 측정 결과 도출
• 어두운 표면이나 반사율이 낮은 표면에서도 높은 인텐시티 유지

• 측정 범위 (mm): 0.3
• 직선성: 최대 0.15 µm
• 분해능: 최대 6 nm
• 변위 및 조도 측정에 적합
• 초소형 측정 스폿: 6 µm
• 고감도 및 넓은 측정 각도