실리콘 잉곳의 치수 검사

Micro-Epsilon사의 레이저 프로파일 스캐너는 실리콘 잉곳의 기하학적 형상을 검사하는 데 사용됩니다. 스캐너는 실리콘 잉곳의 전체적인 기하학적 형상을 감지하여 분리 전에 실리콘 블록의 기하학적 편차를 확인할 수 있도록 합니다. 또한 잉곳에는 종종 정확한 방향 설정을 위해 필요한 오리엔테이션 노치 (Orientation notch)가 포함되어 있으며, Micro-Epsilon사의 블루 레이저스캐너는 이러한 노치의 치수 정확성을 검사하는 데 사용되며 노치의 형상을 높은 정확도로 기록합니다.