거리 및 두께의 비접촉식 측정을 위한 고정밀 백색광 간섭계
Micro-Epsilon사의 혁신적인 백색광 간섭계는 거리와 두께를 고정밀하게 측정하는 데 있어 새로운 기준을 정립합니다. 이들 센서는 서브나노미터 분해능의 안정적인 측정 결과를 제공할 뿐만 아니라 상대적으로 넓은 측정 범위와 오프셋 거리 역시 제공합니다. 본 간섭계는 총 4개의 시리즈로 구성되어 있습니다.: IMS5400-DS는 산업 분야 내 고정밀 거리 측정, IMS5400-TH는 고정밀 두께 측정, 진공 호환형 제품인 IMS5600-DS는 피코미터 분해능으로 거리를 측정합니다. 이외에도 IMS5420-TH는 웨이퍼 두께 측정에 사용됩니다.
산업 및 자동화 공정에 사용하기 위한 간섭계
산업용 백색광 간섭계는 견고한 내구성의 센서와 더불어 매우 유연한 케이블, DIN 레일에 설치할 수 있는 알루미늄 하우징의 컨트롤러로 구성되어 있습니다. 특히 컨트롤러에는 능동 온도 제어 기능이 탑재되어 있어 주변 온도에 따른 변화를 보정함에 따라 우수한 온도 안정성을 자랑합니다. 아울러 간섭계의 견고한 내구성을 이용해 산업 환경에서도 설치될 수 있으며 케이블 길이가 최대 10 m에 달함에 따라 센서와 컨트롤러를 서로 다른 공간에 설치할 수 있습니다. 더불어 클린룸과 진공 환경에서 이루어지는 측정 작업을 위해 진공 호환형 센서, 케이블, 케이블 피드스루 액세서리 역시 제공 가능합니다.
뛰어난 z축 분해능과 초소형 광 스폿을 이용해 미세한 디테일 및 구조 측정
간섭계 센서는 서브나노미터의 분해능을 자랑하며 전 측정 범위에 걸쳐 10 µm의 광 스폿을 생성합니다. 따라서 이를 통해 반도체나 소형 전자 부품의 구조와 같은 미세한 디테일을 검출할 수 있게 됩니다. 파일럿 레이저를 통해 광 스폿은 시각화되고 이후 센서의 얼라인먼트를 용이하게 합니다.
다양한 설계로 새롭게 선보이는 센서 시리즈
극한의 환경에서도 센서를 사용하기 위해 색다른 설계와 특징을 갖춘 제품을 선보입니다. IMP-DS0.5/90/VAC와 IMP-DS10/90/VAC는 레이저 경로가 90° 타입임에 따라 설치 공간이 협소한 경우에도 설치 가능합니다. 아울러 새롭게 출시된 초소형 타입의 IMP-DS1/VAC는 Micro-Epsilon사의 가장 작은 광학 센서 중 하나입니다. 센서의 직경은 단 4 mm일 뿐만 아니라 케이블 역시 내장되어 있어 비좁은 공간에서도 용이하게 설치할 수 있습니다. 또한 센서와 케이블은 클린룸과 진공 상태에서 모두 사용할 수 있습니다.
특허받은 파일럿 레이저를 이용한 손쉬운 센서 포지셔닝
백색광 간섭계는 눈으로 볼 수 없는 영역대의 적외선 (약 840 nm 파장대)을 이용함에 따라 측정 위치를 직접 볼 수 없습니다. 따라서 측정 위치를 시각화하기 위해 Micro-Epsilon사의 시스템은 파일럿 레이저를 이용해 측정 위치에 스폿을 투사합니다. 또한 파일럿 레이저는 특허받은 방법을 이용해 측정 위치 외에도 거리에 대한 정보를 제공합니다. 만일 측정 타겟이 정확한 거리에 위치해 있고, 측정 범위 내에 있다면 파일럿 레이저가 일정한 빛을 투사하게 됩니다. 다만 측정 타겟이 측정 범위 내에 위치하지 않는 경우, 파일럿 레이저는 점멸하는 양상을 보입니다.
별도로 조정 가능한 마운팅 어댑터를 이용한 센서 얼라인먼트
정확도를 최대치로 끌어올리기 위해 간섭계는 타겟에 최대한 수직으로 정렬됩니다. 또한 마운팅 어댑터는 별도로 조정 가능하기에 모든 센서를 타겟에 가장 적합하게 얼라인 할 수 있고, 더 나아가 센서를 기기에 설치한 후에도 얼라인 할 수 있습니다. 만일 산업용 어댑터를 사용할 경우, 센서를 측정 타겟에 맞게 기울일 수 있을 뿐만 아니라 X, Y축으로 이동할 수 있습니다.
New: 별도 조정 가능한 마운팅 어댑터를 이용한 양면 두께 측정
JMA-Thickness는 총 2개의 조정 가능한 마운팅 어댑터로 구성되어 있으며, 양면 두께 측정을 위해 사용되는 센서를 얼라인 하는 데 사용됩니다. 이는 곧 측정 포인트가 광축에 맞게 정확히 정렬됨을 의미하며 이로써 고정밀한 두께 측정을 실현할 수 있게 됩니다. JMA-Thickness는 기계 및 공장에 설치되는 데 있어 매우 이상적이며 사전 조립된 마운팅 플레이트를 이용해 빠르고 쉬운 설치 역시 가능합니다.
웹 인터페이스를 이용한 손쉬운 사용
인터페이스가 사용자 친화적인 이유로 컨트롤러와 센서를 구성함에 있어 별도의 소프트웨어가 필요하지 않습니다. 웹 인터페이스는 Ethernet을 통해 액세스 가능하며 이를 통해 평균화, 측정 속도, 사전 설정 등을 모두 빠르고 쉽게 셋팅할 수 있습니다.
인터페이스 및 신호 처리 장치
최신식 인터페이스를 이용한 기계 및 시스템 내 설치
컨트롤러는 Ethernet, EtherCAT, RS422과 같은 내장형 인터페이스를 제공할 뿐만 아니라 추가 인코더 연결, 아날로그 출력, 동기화 입력, 디지털 I/O를 제공합니다. 만일 Micro-Epsilon사의 인터페이스 모듈을 사용할 시, PROFINET과 EthernetIP 역시 사용할 수 있는 관계로 간섭계를 모든 제어 시스템 및 생산 프로그램에 통합할 수 있습니다.
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