정전용량변위센서는 렌즈 캐리어의 기울기 각도를 나노미터 단위의 정확도로 측정합니다. 고정밀 측정을 통해 렌즈 캐리어의 각도 변화가 최소화되며, 이를 통해 반복적으로 정확한 이미지 투사가 가능합니다. 여러 대의 센서는 금속 캐리어를 대상으로 측정을 수행하며, 우수한 분해능을 통해 웨이퍼를 정밀하게 노광할 수 있도록 합니다.
